第五十一章 圆筒式刻蚀机

　　当初凌世哲建立半导体工艺实验室的时候，为了让学校的教授研究上的方便，专门开辟了两层楼作为教授和工程师的办公区，每个教授和工程师都有一间属于自己的办公室，办公室里面还有休息室，累了可以休息。除此以外还有4间职工休息室，职工休息室就没有教授工程师的办公室那么好了，都是集体休息室，几个长椅、一张大号铁桌、一个工具柜了事。跟工厂员工休息室没什么区别，员工和大学学生各分两间，全都挨着都在教授休息楼的下面一层。

　　王海华和凌世哲来到教授办公区楼层，但他没有带凌世哲去他的办公室，而是去了会议室，同来得还有克里斯托弗、邱明和其他十余名工程师以及九名来自香港大学和理工大学的教授。

　　这是一间大会议室，可同时容纳200人开会，会议室布置的并不奢华，但科技感十足，以凌世哲后世几十年的眼光来看，都不显老土。

　　大家进了会议室后，分成两边坐下，凌世哲坐在主位上，左手边是香港和理工大学的教授，右手边是安布雷拉的工程师。

　　在亚洲更应该说是中国讲究左为尊，西方国家是右为尊；安布雷拉公司的工程师西方人较多，自然坐在了他的右手方，教授们中国人较多，坐在了他的左手方。看着他们自动的分好了座位，凌世哲也感到省心，这样一来双方都体现了尊重，不会有被轻视的感觉。

　　几名大学学生忙着给大家端茶倒水。这几个学生显然都是新手，没有做过端茶送水的话，状况不断。

　　“嗨，我要的是茶，不是咖啡，你拿错了。”

　　“我要的是英国茶，不是中国茶。”

　　“我要的是拿铁，不是卡布其若，给我换一杯去，笨蛋！”一名教授怒了。

　　“哦，上帝，我要的咖啡是不加牛奶的，是纯咖啡，而你给我的是白咖啡，还有，我要的是三又四分之三颗糖，不是四颗，你给加了四颗糖，换一杯去，菜鸟。”一名来自安布雷拉公司的工程师说道。

　　“我要的是英式柠檬茶，不是美式薄荷茶！”

　　……

　　“你又搞错了，我要的是龙井，不是茉莉花。”

　　“我要的是茉莉花，你给我雀舌干嘛，那是顾教授的，给他端过去，，把我的茉莉花拿来。”

　　看着这帮手忙脚乱，状况不断的大学新生，凌世哲突然笑了起来，想起了自己当初刚刚穿越时，刚进大学时的情景，表现得跟个他们没什么区别，一样的菜。

　　可能大家看到这一幕会大骂，靠，这帮老头也太挑了吧，要喝茶的给他茶，要咖啡的给他咖啡，什么加奶不加奶，什么纯咖啡、龙井、雀舌，那么挑干嘛？都一样的咖啡或茶不行吗？

　　其实香港的各个大学非常重视对学生的实践能力的培养，端茶送水就是最基本的实践之一。以茶水为例，现实生活中人们饮食习惯各不相同，有的爱喝咖啡，有的爱喝茶。咖啡跟茶都有好多的分类，个人的喜好又不一样，需求不一样，有的人甚至有特殊的癖好。

　　让那些学生通过端茶送水的实践，可以帮助他们认识人与人之间的不同，锻炼他们的临场反应发挥，瞬间记忆力，协同合作、组织安排等，通过这种锻炼，让他们建立起对生活和工作中的自信。

　　因为大学是人生中最后的象牙塔，是人们踏入社会的预备站，在学校读书的学生还可以看做是娃娃，大家对你的错误可以包容原谅，而一旦踏入社会就不一样了，大家不会把你当娃娃看，一旦犯错，轻则被骂，重则被炒鱿鱼，甚至有时候还会吃官司。

　　这里是香港，生活工作压力巨大，如果你不能适应，就会被无情的被淘汰。

　　适者生存是香港的生存手册，如同空气一样，充实在香港的方方面面。正是于此，香港的各个大学非常重视学生的社会实践，他们可不想培养出的学生都是些智商极高，情商低得让人无语得社会低能儿。

　　“喝喝，卡姆，你过了哈。”凌世哲提醒自己的一名工程师。

　　卡姆是意大利人，哈哈大笑说道：“boss，这太有意思了，看到那帮学生出丑的样子，我就想笑，这让我想起了年轻的时候。”

　　另一边一名来自理工大学的教授说道：“没有关系的凌少，你们得工程师做得很好，这样可以让这帮菜鸟得到尽可能的锻炼，这对他们日后踏入社会在工作和生活上都有很大的好处。”

　　一名安布雷拉的工程师说道：“boss，刚开始的时候我们也不是这样的，我们没这么挑剔，自从明白教授们对学生们故意“刁难”的目的后，我们才加入其中跟着“刁难”他们的，香港的大学对学生得培养方式非常的有意思，通过这种特殊得培养方式培养出的学生，他们都非常的自信和独立。”

　　其他的工程师都跟着点了点头。这种方式是香港的大学所特有，其他地方是没有的，学生通过这种实践的锻炼后，做事干净利落、条理分明、忙而有序，遇事不慌忙急躁，知道先干什么，然后再干什么。其他地方和国家的大学都有不同的方法来锻炼学生的独立和自信，但香港的方法最特殊，他集合了东方和西方大学的一些优秀经验，走出一条自己的路。

　　那几个学生从刚开始一番手忙脚乱之后，慢慢得开始变得有了些章法了，最后终于把所有人的茶水跟咖啡都准确无比的端给了大家，他们才退了出去，走时还把会议室的门不忘关上。

　　人全部走了以后，王海华才把凌世哲交给他的资料袋打开，不出他所料里面是好几张晒制图和一些技术资料。把资料依次分给了其他教授和工程师，他自己把晒图纸摊开在会议桌上，从衣兜里拿出眼镜盒打开，取出老花镜戴上，向晒制图看去，旁边邱明和克里斯托福以及两个教授和一名安布雷拉的工程师也走了过来，一起向这章晒图纸看去。

　　图纸上左下角数据栏写着圆筒式等离子处理系统。

　　自从上次他们告诉凌世哲电耦合等离子体刻蚀系统无法短时间搞出来后，凌世哲这些天查了好多资料，终于找出了一套替代方案。

　　半导体历史上对硅片的刻蚀在77年以前都是采用的化学湿法腐蚀技术工艺，这种技术是利用乙酸或h2o缓冲的hf/hno3溶液与薄膜建所进行的化学反应，来去除薄膜未被光刻胶覆盖的部分来到达刻蚀目的，这种刻蚀方法又叫湿法刻蚀技术，是一种纯化学刻蚀。

　　后来随着半导体技术的进步，湿法刻蚀技术走到了镜头，开始进入干法刻蚀。它不使用液体，是利用等离子体或高能粒子束轰击的方式来对晶元进行刻蚀。

　　桶式刻蚀机是最早的刻蚀机，也是最简单的刻蚀机。凌世哲设计得圆筒式刻蚀系统是在桶式刻蚀机上改进而来的，它采用一款通用的真空处理舱及机箱，是一款满足等离子去胶，清除浮渣，各向同性和各向同性蚀，采用高模块化装配设计、多功能真空舱体－电极设计、结构紧凑，具有自动化工艺程序的等离子体刻蚀设备。

　　凌世哲就是要用这个套装置来代替icp刻蚀机，这套系统的刻蚀尺寸极限是0.5微米；按照现在的半导体技术发展速度，这套设备使用达到极限后，icp刻蚀机已经完全可以进入使用阶段了，到时候就可以跟圆筒式刻蚀机进行交接，把它替换下来。

　　这样他就不需要像原先的历史那样，频繁的更换刻蚀机。这是他苦思了很久才想出来的一套解决方案。

　　良久以后，凌世哲问道：“如何，以现在的科技能不能把它造出来？”

　　邱明与众人互相看了看，点了点头，说道：“设计上没什么问题，只需要花些时间做几个试验找出最佳的数据值，明年三月份以前就可以定型投入使用了。”

　　要明年才能出来，凌世哲显然对这个进度不满意，说道：“给你们三个月时间能不能搞出来？”

　　卡姆摇头说道：“很难，明年三月份都不一定能够做出来，boss你看，你得这套系统是全自动化的，数控系统的开发就要花许多时间，如果要明年三月份出来，这还是在没有重**ug的情况下，如果有重**ug，就不知道要花多少时间了。”

　　卡姆这么一说凌世哲突然想到历史上的mk800数控机床，这台机床是美国斯皮舍尔公司在七十年代末推出的，开发时间整整用了十年，然后隔了多少年来着，时间太过久远凌世哲也记不住了，反正就是发现这台机床有重大问题，经过检验发现问题出在软件上，斯皮舍尔公司花了几年时间都没有找出里面的bug，后来一直到了90年代才把这个bug给找出来，它隐藏之深可见一斑；可惜的是这台机床的bug不止一处，而是好几处，全都是重大的bug，直达90年代末才全部解决。不过那个时候斯皮舍尔公司早已经成为了历史。

　　软件出现问题要解决起来相当的麻烦，软件故障问题能否顺利的解决，全部取决于你能否第一时间找出里面的bug，如果你不能在最短的时间内找到，那么你就惨了，特别是重**ug，你就怎么都解决不了。找出了bug你才能解决问题，找不出你就洗白。

　　“不，应该不会出现这个问题，软件出现这种问题一般都是内核结构设计上的不合理，其次是在程序编写上有着严重失误才会造成。你们看，boss的这套数控系统在机构上非常的简单，用的cpu芯片是risc构架，硬件的设计上也没有任何问题，这样软件的内核结构在设计上会简单许多，排除了重**ug缺陷的可能，只要程序员在编写时不出现重大的失误，严重bug的可能就可以排除掉，就算有些小bug也不会有什么影响。另外，我建议使用j**a2.0企业版编程语言来编写它的程序，java优势是适合团队开发，软件工程可以相对做到规范，可以用来开发可靠的、要求严格的应用程序，这是一个很难比拟的优势。这样可以最大限度的防止严重bug的出现，我们可以采用分组编写的方式来编写软件代码，这样可以节约很多时间，软件编写完成后，在用程序检测软件来检测它是否有漏洞，特别是重大漏洞。”安布雷拉公司的一名软件工程师反驳道。

　　“risc构架的程序编写量非常的庞大，我们的程序员完全不够啊！”卡姆说道。

　　“我们可以找那些学生来编写，只要程序上面不出现大问题，我们就可以在明年三月份之前完成。之后嘛，只需把软件优化升级就行了。”王海华回答道。

　　大家你一言，我一言，计划慢慢的完善起来，最后终于确定方案后，克里斯托弗对凌世哲说道：“boss，我们没法在三个月以后拿出来，明年三月份拿出来，是最快得速度了，在快就会影响到那些学生的正常上课了，这套系统最花时间的就是程序的编写和反复的修改，risc结构的程序不像cisc构架，它虽然不复杂，但编写程序的工作量且非常的庞大。”

　　凌世哲点了点头，看来他还是急躁了，想早点把圆筒式刻蚀机用上去，湿法刻蚀工艺芯片厂先暂时用这吧，它的极限是4—5微米，还早呢。

　　讨论完了以后，大家都纷纷走出会议室。

　　王海华没有跟着大家一起走，而是叫住凌世哲来到他的办公室。

　　二人在沙发上坐下，学生给二人上了茶后出去后，王海华说道：“小凌，一开始你就应该使用圆筒式刻蚀机方案，而不是用icp方案，虽然icp比圆筒式有着很大的优势，但它也太复杂了，不是几年时间就能搞出来的。”

　　王海华的话又微微责备的意思，他跟凌志高有很深的交情，凌世哲是晚辈，还得叫他一声叔，在加上他也是从香港大学毕业的，念的是物理系，王海华又是物理系的主任，凌世哲算起来也还是他的学生，虽然没有跟他上过一天课，所以他才敢说那些话。换成其他人是不敢这么跟他说话的。

　　凌世哲苦笑的摇了摇头，可不是吗，当初要是先把圆筒式刻蚀机拿出来，现在早都进入工厂进行生产使用了，还是怪自己想一次性吃个大胖子，结果好了，吊起了。

　　“教授，你怎么知道我早就有圆筒式刻蚀机方案的？”

　　“我怎么会不知道？当初你在学校读书的时候就在我的系，我对每一名学生都观察过，虽然我没有亲自教过你，但我也了解你，什么都想要最好的，开发新型陶瓷是那样，电脑相机是那样，你得这套新型工艺也是那样，刚才看你拿出的那张图，我一看就知道这不是一天两天就能设计的出来。”

　　凌世哲没有说话，这张图和那些资料不是他设计的，而是他从后世带过来的，誊写下来的。